Π―ΠΊΡΠΎ Π²ΠΈ Π·Π°ΠΏΠΈΡΡΠ²Π°Π»ΠΈ ΡΠ΅Π±Π΅, ΠΊΠΎΠ»ΠΈ ΠΠΈΡΠ°ΠΉ Π·Π°Π²Π΄Π°ΡΡΡ ΡΠ΄Π°ΡΡ Ρ Π²ΡΠ΄ΠΏΠΎΠ²ΡΠ΄Ρ Π½Π° ΡΠ°Π½ΠΊΡΡΡ Π‘Π¨Π ΡΠ° ΠΠ‘, ΡΠΎ Π²ΡΠ΄ΠΏΠΎΠ²ΡΠ΄Ρ – Π·Π°ΡΠ°Π·. ΠΠΎΠ²ΠΈΠΉ ΠΊΠΈΡΠ°ΠΉΡΡΠΊΠΈΠΉ Π·Π°ΠΊΠΎΠ½ ΠΏΡΠΎ Π·Π°Π±ΠΎΡΠΎΠ½Ρ Π΅ΠΊΡΠΏΠΎΡΡΡ ΠΎΠ±ΠΌΠ΅ΠΆΡΡ Π΅ΠΊΡΠΏΠΎΡΡ ΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΈΠ½ΠΈ, Π·ΠΎΠΊΡΠ΅ΠΌΠ° Π½ΡΡΡΠΈΠ΄Ρ Π³Π°Π»ΡΡ (GaN) ΡΠ° Π΄ΡΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Ρ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΡΡ (GeO2). Π¦Ρ Π΄Π²Π° Π΅Π»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΈ Π²ΠΈΠΊΠΎΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΡΡΡΡΡΡ Π² ΠΌΡΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΡΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΠΈΡΠ»ΠΎΠ²ΠΎΡΡΡ ΡΠ° ΠΌΠ°ΡΡΡ Π²ΠΈΡΡΡΠ°Π»ΡΠ½Π΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½Π½Ρ Π΄Π»Ρ Π²ΠΈΡΠΎΠ±Π½ΠΈΡΡΠ²Π° ΠΌΡΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ.
Π£ Π·Π°ΡΠ²Ρ ΠΡΠ½ΡΡΡΠ΅ΡΡΡΠ²Π° ΡΠΎΡΠ³ΡΠ²Π»Ρ ΠΠΈΡΠ°Ρ ΠΉΠ΄Π΅ΡΡΡΡ ΠΏΡΠΎ ΡΠ΅, ΡΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΡΡ, ΡΠΊΡ Π΅ΠΊΡΠΏΠΎΡΡΡΡΡΡ 38 Π²ΠΈΠ΄ΡΠ² ΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΈΠ½ΠΈ, ΠΏΠΎΠ²ΠΈΠ½Π½Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π°ΡΠΈ Π·Π°ΡΠ²ΠΊΡ Π½Π° ΠΎΡΡΠΈΠΌΠ°Π½Π½Ρ Π»ΡΡΠ΅Π½Π·ΡΡ. Π¦Π΅ΠΉ ΠΊΡΠΎΠΊ, ΠΎΡΠ΅Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, ΡΠΏΡΡΠΌΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠΈ Π²ΠΈΡΠΎΠ±Π½ΠΈΠΊΡΠ² ΠΌΡΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ Ρ ΡΠ΅Π»Π΅ΠΊΠΎΠΌΡΠ½ΡΠΊΠ°ΡΡΠΉΠ½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΡΠΉ Π‘Π¨Π ΡΠ° ΠΠ‘. ΠΡΠ½ Ρ Π²ΡΠ΄ΠΏΠΎΠ²ΡΠ΄Π΄Ρ Π½Π° Π·Π°Ρ ΡΠ΄Π½Ρ ΡΠ°Π½ΠΊΡΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠΈ ΠΠΈΡΠ°Ρ. Π₯ΠΎΡΠ° ΡΠ΅ Π½Π΅ ΠΏΠ΅ΡΡΠΈΠΉ ΠΊΡΠΎΠΊ, Π²ΡΠ½ Π²Π²Π°ΠΆΠ°ΡΡΡΡΡ Π²ΠΈΡΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΈΠΌ Ρ Π±Π΅Π·ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΠ²Π½ΡΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΡΡΠ½ΡΠΉ Π²ΡΠΉΠ½Ρ. ΠΠΎΠ²Ρ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»Π° Π·Π°ΡΡΠΎΡΠΎΠ²ΡΡΡΡΡΡ Π· 1 ΡΠ΅ΡΠΏΠ½Ρ.
ΠΠ°Π±ΠΎΡΠΎΠ½Π° Π½Π° Π΅ΠΊΡΠΏΠΎΡΡ Π΄ΠΎ ΠΠΈΡΠ°Ρ Π±ΡΠ»Π° Π·Π°ΠΏΡΠΎΠ²Π°Π΄ΠΆΠ΅Π½Π° Π½Π΅Π²Π΄ΠΎΠ²Π·Ρ ΠΏΡΡΠ»Ρ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΠΊ ΡΡΡΠ΄ ΠΡΠ΄Π΅ΡΠ»Π°Π½Π΄ΡΠ² Π½Π°ΠΊΠ»Π°Π² ΠΎΠ±ΠΌΠ΅ΠΆΠ΅Π½Π½Ρ Π½Π° Π΅ΠΊΡΠΏΠΎΡΡ ASML Π΄Π»Ρ ΠΊΠΈΡΠ°ΠΉΡΡΠΊΠΈΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΡΠΉ. Π ΡΠ°ΠΌΠ΅, ASML Ρ ΡΠ΄ΠΈΠ½ΠΎΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΡΡΡ Ρ ΡΠ²ΡΡΡ, ΡΠΎ Π²ΠΈΡΠΎΠ±Π»ΡΡ Π²ΠΈΡΠΎΠΊΠΎΡΠΎΡΠ½Ρ Π»ΡΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΡΡΠ½Ρ ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½ΠΈ, ΡΠΊΡ Π²ΠΈΠΊΠΎΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΡΡΡΡΡΡ Ρ Π²ΠΈΡΠΎΠ±Π½ΠΈΡΡΠ²Ρ ΠΌΡΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ. Π£ΡΡΠ΄ ΠΡΠ΄Π΅ΡΠ»Π°Π½Π΄ΡΠ² ΡΡΠΈΠ²Π°Π»ΠΈΠΉ ΡΠ°Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠ²Π°Π² ΠΏΡΠ΄ ΡΠΈΡΠΊΠΎΠΌ Π‘Π¨Π Π· Π²ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎΡ Π½Π΅ ΠΏΡΠΎΠ΄Π°Π²Π°ΡΠΈ ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½ΠΈ ΠΊΠΈΡΠ°ΠΉΡΡΠΌ.
ΠΠ΅ΡΠΊΡ Π°Π½Π°Π»ΡΡΠΈΠΊΠΈ Π²Π²Π°ΠΆΠ°ΡΡΡ ΡΠ΅ΠΉ ΠΊΡΠΎΠΊ Π²ΠΈΡΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΈΠΌ Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΡΡΠ½ΡΠΉ Π²ΡΠΉΠ½Ρ. ΠΠ°ΡΠ°Π·Ρ ΠΠΈΡΠ°ΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π²Π°ΠΆΠ½Ρ Π±ΡΠ»ΡΡΡΡΡΡ ΡΠ²ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΈΡΠΎΠ±Π½ΠΈΡΡΠ²Π° ΡΡΠ΄ΠΊΡΡΠ½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»ΡΠ². ΠΠ°Π³Π°ΡΠΎ Π· Π½ΠΈΡ Π²ΠΈΠΊΠΎΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΡΡΡΡΡΡ Ρ Π²ΠΈΡΠΎΠ±Π½ΠΈΡΡΠ²Ρ ΠΌΡΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ, ΡΠ΅Π»Π΅ΠΊΠΎΠΌΡΠ½ΡΠΊΠ°ΡΡΠΉΠ½ΠΎΠΌΡ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π½Π°Π½Π½Ρ ΡΠ° ΠΎΠ±ΠΎΡΠΎΠ½Π½ΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ . ΠΠ°Π»ΡΠΉ Π²ΠΈΠΊΠΎΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΡΡΡΡΡΡ Ρ Π²ΠΈΡΠΎΠ±Π½ΠΈΡΡΠ²Ρ ΠΌΡΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ. Π£ ΠΏΠΎΡΠ΄Π½Π°Π½Π½Ρ Π· ΡΠ½ΡΠΈΠΌΠΈ Π΅Π»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΠΌΠΈ Π²ΡΠ½ ΠΏΠΎΠΊΡΠ°ΡΡΡ ΡΠ²ΠΈΠ΄ΠΊΡΡΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°ΡΡ Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ° Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡΡΡ ΡΡΠ·Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΡΠ². ΠΠ°ΠΉΠ±ΡΠ»ΡΡ Π²Π°ΠΆΠ»ΠΈΠ²ΠΈΠΌΠΈ Ρ Π΄ΠΈΡΠΏΠ»Π΅Ρ ΡΠ΅Π»Π΅ΡΠΎΠ½ΡΠ², ΡΠΎΠ½ΡΡΠ½Ρ ΠΏΠ°Π½Π΅Π»Ρ ΡΠ° ΡΠ°Π΄Π°ΡΠΈ.
ΠΠ°Π±ΠΎΡΠΎΠ½Π° Π΅ΠΊΡΠΏΠΎΡΡΡ Π· ΠΠΈΡΠ°Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ΅ Π·ΠΌΡΠ½ΠΈΡΠΈ Ρ ΡΠ΄ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΡΡΠ½ΠΎΡ Π²ΡΠΉΠ½ΠΈ
ΠΠΈΡΠ°ΠΉ Ρ Π½Π°ΠΉΠ±ΡΠ»ΡΡΠΈΠΌ ΡΠ²ΡΡΠΎΠ²ΠΈΠΌ ΠΏΠΎΡΡΠ°ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠΌ ΡΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»ΡΠ². ΠΠ³ΡΠ΄Π½ΠΎ Π· Π΄ΠΎΡΠ»ΡΠ΄ΠΆΠ΅Π½Π½ΡΠΌ ΠΠ‘, Π½Π° Π½ΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΏΠ°Π΄Π°Ρ 94% ΡΠ²ΡΡΠΎΠ²ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΡΠ°ΡΠ°Π½Π½Ρ Π³Π°Π»ΡΡ ΡΠ° 83% Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΡΡ. ΠΠ³ΡΠ΄Π½ΠΎ Π· Π°ΠΌΠ΅ΡΠΈΠΊΠ°Π½ΡΡΠΊΠΈΠΌΠΈ Π΄Π°Π½ΠΈΠΌΠΈ, ΡΠΌΠΏΠΎΡΡ Π³Π°Π»ΡΡ Π² Π‘Π¨Π Ρ 2022 ΡΠΎΡΡ ΠΎΡΡΠ½ΡΡΡΡΡΡ Ρ 225 ΠΌΡΠ»ΡΠΉΠΎΠ½ΡΠ² Π΄ΠΎΠ»Π°ΡΡΠ².
ΠΠ° Π΄ΡΠΌΠΊΡ Π΄Π΅ΡΠΊΠΈΡ Π°Π½Π°Π»ΡΡΠΈΠΊΡΠ², ΡΠ΅ΠΉ ΠΊΡΠΎΠΊ Π½Π΅ Π·Π°ΡΠΊΠΎΠ΄ΠΈΡΡ ΠΠ°Ρ ΠΎΠ΄Ρ Π² Π΄ΠΎΠ²Π³ΠΎΡΡΡΠΎΠΊΠΎΠ²ΡΠΉ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Ρ. ΠΠΈΡΠ°ΠΉΡΡΠΊΠΈΠΉ ΡΡΡΠ΄ ΡΡΠ²ΡΠ΄ΠΎΠΌΠ»ΡΡ, ΡΠΎ ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ½Π° Π·Π½Π°ΠΉΡΠΈ Π² ΡΠ½ΡΠΈΡ ΠΊΡΠ°ΡΠ½Π°Ρ . ΠΡ Π½ΡΠΎΡ Π³ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π½ΠΎΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΡ Ρ ΡΠΏΠΎΠ²ΡΠ»ΡΠ½Π΅Π½Π½Ρ ΡΠΎΠ·Π²ΠΈΡΠΊΡ Π·Π°Ρ ΡΠ΄Π½ΠΎΡ ΡΠ½Π΄ΡΡΡΡΡΡ ΠΌΡΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ, ΠΎΡΠΊΡΠ»ΡΠΊΠΈ ΡΠΉ, ΠΉΠΌΠΎΠ²ΡΡΠ½ΠΎ, Π·Π½Π°Π΄ΠΎΠ±ΠΈΡΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ°Ρ Π΄Π»Ρ Π΄ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈΡΡΠΊΠ°ΡΡΡ ΠΏΠΎΡΡΠ°ΡΠ°Π½Π½Ρ, Π° Π·Π°Π±ΠΎΡΠΎΠ½Π° Π½Π° Π΅ΠΊΡΠΏΠΎΡΡ Π· ΠΠΈΡΠ°Ρ ΡΡΠΊΠ»Π°Π΄Π½ΡΡ ΡΡ Π½Ρ ΠΏΠ»Π°Π½ΠΈ.
ΠΠ΄Π½Π°ΠΊ ΡΠ΅ΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ΅ Π·Π°ΠΉΠ½ΡΡΠΈ ΠΊΡΠ»ΡΠΊΠ° ΡΠΎΠΊΡΠ². Π’ΠΈΠΌ ΡΠ°ΡΠΎΠΌ ΠΠΈΡΠ°ΠΉ ΡΠΏΠΎΠ΄ΡΠ²Π°ΡΡΡΡΡ ΠΏΡΠΈΡΠΊΠΎΡΠΈΡΠΈ Π²ΠΈΡΠΎΠ±Π½ΠΈΡΡΠ²ΠΎ ΠΌΡΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ, ΡΠΎΠ± Π½Π°Π·Π΄ΠΎΠ³Π½Π°ΡΠΈ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ Π²ΠΈΡΠΎΠ±Π½ΠΈΠΊΡΠ², ΡΠΊ TSMC Ρ Samsung. ΠΡΡΠ°Π½Π½Ρ Π΄Π²Ρ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΡΡ Π½Π°ΡΠ°Π·Ρ Ρ ΡΠ΄ΠΈΠ½ΠΈΠΌΠΈ, Ρ ΡΠΎ Π·Π΄Π°ΡΠ΅Π½ Π²ΠΈΡΠΎΠ±Π»ΡΡΠΈ Π½Π°ΠΉΡΡΡΠ°ΡΠ½ΡΡΡ ΡΡΠΏΠΈ. Π―ΠΊ ΠΌΠΈ Π·Π½Π°ΡΠΌΠΎ, Π²ΠΎΠ½ΠΈ ΠΌΠ°ΡΡΡ Π²ΠΈΡΡΡΠ°Π»ΡΠ½Π΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½Π½Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠΌΠ°ΡΡΡΠΎΠ½ΡΠ², ΠΊΠΎΠΌΠΏ’ΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΡ ΡΠ° Π°Π²ΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΡΠ»ΡΠ½ΠΎΡ ΠΏΡΠΎΠΌΠΈΡΠ»ΠΎΠ²ΠΎΡΡΡ.
ΠΠ΅ΡΠΊΡ Π°Π½Π°Π»ΡΡΠΈΠΊΠΈ Π²Π²Π°ΠΆΠ°ΡΡΡ, ΡΠΎ Π½Π°Π²ΡΡΡ ΡΠΊΡΠΎ Π·Π°Ρ ΡΠ΄Π½Ρ ΠΊΡΠ°ΡΠ½ΠΈ ΡΠΎΠ·ΠΏΠΎΡΠ½ΡΡΡ Π²ΠΈΡΠΎΠ±Π½ΠΈΡΡΠ²ΠΎ ΡΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ°Π»ΡΠ² Π·Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΊΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΠΆΠΎΠΊ ΡΠ°ΡΡ, ΠΊΠΈΡΠ°ΠΉΡΡΠΊΠ° Π·Π°Π±ΠΎΡΠΎΠ½Π° Π½Π° Π΅ΠΊΡΠΏΠΎΡΡ Π²ΠΏΠ»ΠΈΠ½Π΅ Π½Π° ΡΡΠ½Ρ.
ΠΠ°ΡΠ°Π·Ρ Π½ΡΡ ΡΠΎ Π½Π΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅ ΡΠΊΠ°Π·Π°ΡΠΈ Π½Π°ΠΏΠ΅Π²Π½ΠΎ, ΡΠΈΠΌ Π·Π°ΠΊΡΠ½ΡΠΈΡΡΡΡ ΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΡΡΠ½Π° Π²ΡΠΉΠ½Π°. ΠΠΎΠΆΠ½Π° ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Π° ΠΌΠ°Ρ ΡΠ²ΠΎΡ Π·Π°ΠΊΠΎΠ½Π½Π΅ ΠΏΡΠ°Π²ΠΎ Π½Π΅ ΠΏΡΠΎΠ΄Π°Π²Π°ΡΠΈ Π½ΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π½ΡΠΊΠΎΠΌΡ. ΠΡΠΎΡΠ΅ ΡΠ΅ ΡΠ²Π½ΠΎ ΡΡΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΠΈΡΡ ΡΡΡΠΌ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»Π°ΠΌ Π²ΡΠ»ΡΠ½ΠΎΡ ΡΠΎΡΠ³ΡΠ²Π»Ρ ΡΠ°, Π±Π΅Π·ΡΡΠΌΠ½ΡΠ²Π½ΠΎ, ΠΏΡΠΈΠ·Π²Π΅Π΄Π΅ Π΄ΠΎ ΡΠ΅ Π±ΡΠ»ΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π±Π΅Π·Π»Π°Π΄Ρ Π½Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΡ. Π¦Π΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠΈ Π΄ΠΎ Π½ΠΎΠ²ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌ Ρ Π»Π°Π½ΡΡΠ³Π°Ρ ΠΏΠΎΡΡΠ°ΡΠ°Π½Π½Ρ, Π½ΠΎΠ²ΠΈΡ Π΄Π΅ΡΡΡΠΈΡΡΠ², Π° ΠΊΡΠ½ΡΠ΅Π²Ρ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠΈ ΠΌΠΎΠΆΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠΆΡΠ°ΡΠΈ.